近日，青島國數信息科技有限公司在青島正式發(fā)布了國內首款硅基壓電MEMS水聽器芯片，以及基于該芯片構建的MEMS水聽器、芯片開發(fā)套件、處理軟件和聲學仿真平臺一體化系列產品。該芯片由國數科技旗下國數微電子研發(fā)團隊設計開發(fā)，是一款全自主國產化芯片，為高端水聲器件與裝備提供全新解決方案。

據了解，水聽器即水下麥克風，是把水下聲信號轉換為電信號的換能器。國數科技副總裁、戰(zhàn)略創(chuàng)新中心負責人楊華在新品發(fā)布會上表示，硅基壓電MEMS水聽器芯片，從設計到工藝，保證了器件的高一致性與低成本，在10Hz-100KHz帶寬內保持高靈敏度，6mm*6mm尺寸芯片靈敏度-205dB re 1V/μPa。這是一款小尺寸、高性能、低成本的新型海洋聲學探測芯片，可在環(huán)境、漁業(yè)、探測領域多場景下投入應用。

性能指標優(yōu)越功耗降低30%

MEMS水聽器芯片基于擁有自主知識產權的陣列式環(huán)狀電極芯片架構，采用氮化鋁（ALN）新型壓電薄膜材料，基于微器件和半導體新工藝制備，實現(xiàn)了高靈敏度、高一致性、高信噪比的優(yōu)越性能指標以及小型化、低功耗的尖端功能指標。

楊華說：“相較傳統(tǒng)的壓電陶瓷（PZT）和氧化鋅（ZnO）等壓電材料， AlN介電常數低，可與CMOS工藝兼容且不需要極化，有利于實現(xiàn)器件的高信噪比、高集成化?！惫杌鵐EMS芯片能更好的實現(xiàn)水聽器的輕量化與低功耗，與目前市面上同類的壓電陶瓷類水聽器產品相比，采用AlN壓電薄膜的MEMS芯片的水聽器尺寸減小50%，功耗降低30%。

適合更多種聲學探測應用

器件的高一致性、高靈敏度和高信噪比（SNR）令國數的硅基MEMS水聽器芯片適合多種環(huán)境中需要超高的動態(tài)范圍、遠場的聲學探測應用。超高一致性的靈敏度匹配能夠針對多水聽器陣列優(yōu)化波束成形和噪聲消除算法，低功耗產品性能能夠延長海洋監(jiān)測應用周期。

硅基MEMS水聽器芯片適用于環(huán)境、漁業(yè)、探測等應用領域：聲納設備；浮潛標觀測監(jiān)測平臺；AUV、ROV等水下探測機器人；水聲監(jiān)測網網絡節(jié)點；潛器表面貼裝；魚探儀；聲學導引設備。

國數科技硅基MEMS水聽器提供芯片級和器件級封裝，由于尺寸小，可進一步拓展應用環(huán)境，提供軟件和聲學仿真平臺支持，確保應用所需的快速開發(fā)的最佳解決方案。

填補行業(yè)“技術空白”

國數科技MEMS水聽器芯片以國內領先為起點，對標、趕超國際技術現(xiàn)狀，站在了海洋聲學探測芯片發(fā)展的歷史關鍵點，致力于為海洋聲學探測器件帶來性能上的突破。

新型MEMS水聽器芯片的研發(fā)與應用，是團隊一直以來努力的重要方向。國數科技將以解決國家技術“卡脖子”與填補“技術空白”為時代使命，不斷擴大產品系列，為實現(xiàn)海洋強國“從芯開始，篤行不怠”，向著科技創(chuàng)新的巔峰出發(fā)。

相關資料：

青島國數信息科技有限公司自成立以來，經過多年的不斷堅持與努力，現(xiàn)已發(fā)展為集產、學、研、服務為一體的創(chuàng)新型科技公司。公司專注于海洋通信與探測領域系統(tǒng)與裝備的研發(fā)制造及等級維保服務，核心技術為完全自主知識產權的裝備級全過程電子信號處理能力。公司以核心技術為依托，一方面瞄準海洋領域水上水下的通信與探測需求，自主研制軍民領域應用裝備；一方面與相關專業(yè)院所及承制單位合作，為其提供配套研發(fā)制造服務。

國數科技旗下微電子研發(fā)團隊，以“海洋強國”戰(zhàn)略為指引，以解決國家技術“卡脖子”與填補“技術空白”為時代使命，專注海洋通信與探測領域芯片研制，致力于成為海洋芯片領域的研制專家。

青島財經日報/首頁傳媒記者  宋大偉