晶瑞電材表示，公司高端KrF光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，已進(jìn)入客戶測試階段。近期已購得KrF光刻機(jī)一臺，可用于KrF光刻膠的曝光測試，同時公司KrF光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。目前ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動，已完成光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī)、掃描電鏡、臺階儀等設(shè)備購置，其中ASML1900Gi型光刻機(jī)設(shè)備正在積極調(diào)試中。同時公司正在積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。