中國長城半導體激光隱形晶圓切割技術取得重大突破 ©原創(chuàng) 2021-09-29 17:42 0 中國長城消息,其旗下鄭州軌道交通信息技術研究院聯(lián)合河南通用智能裝備有限公司,僅用一年時間,便完成了半導體激光隱形晶圓切割設備的技術迭代,分辨率由100nm提升至50nm,達到行業(yè)內(nèi)最高精度,實現(xiàn)了晶圓背切加工的功能。與此同時,持續(xù)優(yōu)化工藝,在原有切割硅材料的技術基礎上,實現(xiàn)了加工CIS、RFID、碳化硅、氮化鎵等材料的技術突破,對進一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。
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